複合構造物作製装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-066070
公開番号（公開出願番号）：特開2004-267990
出願日： 2003年03月12日
公開日（公表日）： 2004年09月30日
要約：

【課題】エアロゾルデポジション法において、構造物形成に与らないエアロゾル中の材料微粒子及び構造物形成時に用いた粉体搬送ガスを回収し再利用する。【解決手段】粉体供給容器から供給された材料微粒子をガス中に分散させたエアロゾルを基板に衝突させて構造物を作製する構造物作製装置において、前記エアロゾルと前記基板との衝突部位の近傍に設置されエアロゾルを吸入する吸引筒と、前記吸引筒に連結しエアロゾル中の材料微粒子を捕捉し貯留する微粒子回収容器とを有した粉体回収機構と、前記微粒子回収容器から前記粉体供給容器への一方向の流れのみを許可する逆流防止手段と、この逆流防止手段よりも前記微粒子粉体供給容器側に設けられ、前記微粒子回収容器から前記粉体供給容器への流れを生起する駆動源とを有する粉体搬送機構と、から構成されたことを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

粉体供給容器から供給された材料微粒子をガス中に分散させたエアロゾルを発生するエアロゾル発生器と、発生したエアロゾルを高速で噴射するノズルとを備え、エアロゾルを基板に衝突させて構造物を作製する複合構造物作製装置において、前記エアロゾルと前記基板との衝突部位の近傍に設置され前記基板に衝突した後に前記構造物の形成に与らないエアロゾルを吸入する吸引筒と、前記吸引筒に連結し前記構造物の形成に与らないエアロゾル中の材料微粒子を捕捉し貯留する微粒子回収容器とを有した粉体回収機構と、前記微粒子回収容器から前記粉体供給容器への一方向の流れのみを許可する逆流防止手段と、この逆流防止手段よりも前記微粒子粉体供給容器側に設けられ、前記微粒子回収容器から前記粉体供給容器への流れを生起する駆動源とを有する粉体搬送機構と、から構成されたことを特徴とする複合構造物作製装置。

IPC (4件)：

B05B7/14 , B01J19/00 , B05B15/04 , C23C24/04

FI (4件)：

B05B7/14 , B01J19/00 K , B05B15/04 104 , C23C24/04

Fターム (51件)：

4D073AA01 , 4D073BB06 , 4D073DC02 , 4D073DC22 , 4D073DD07 , 4D073DD21 , 4D073DD24 , 4D075AA02 , 4D075AA34 , 4D075AA71 , 4D075AA81 , 4D075CA48 , 4D075DA06 , 4D075DB13 , 4D075DB14 , 4D075DC19 , 4D075DC21 , 4D075EA02 , 4D075EB01 , 4D075EB05 , 4F033QA01 , 4F033QB02Y , 4F033QB05 , 4F033QB12Y , 4F033QB19 , 4F033QB20 , 4F033QC02 , 4F033QC09 , 4F033QD02 , 4F033QD11 , 4F033QD13 , 4F033QE21 , 4F033QF07Y , 4F033QF13X , 4F033QH02 , 4F033QH05 , 4F033QH10 , 4F033QK16X , 4F033QK23X , 4G075AA24 , 4G075AA27 , 4G075AA30 , 4G075AA65 , 4G075BB05 , 4G075BB08 , 4G075DA01 , 4G075EB01 , 4G075EC01 , 4K044BB11 , 4K044CA21 , 4K044CA71

引用特許：

審査官引用 (5件)

微粒子噴射加工装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-166821 出願人：ソニー株式会社
中塗塗料の回収方法およびこれを利用した物品の中塗塗装装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-168538 出願人：日産自動車株式会社
粉体量を決定する方法、粉体スプレー量を制御する方法、粉体量を決定する装置及び粉体コーティング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-312320 出願人：バグネルインテルナツィオナルアクチェンゲゼルシャフト

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