半導体キャリアの移載装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-197877
公開番号（公開出願番号）：特開2000-025943
出願日： 1998年07月13日
公開日（公表日）： 2000年01月25日
要約：

【要約】【課題】キャリアの搬出入の際の作業者にかかる負荷を軽減し、キャリアの搬出入を短時間で行うことができ、操作も簡単な半導体キャリアの移載装置を提供する。【解決手段】台車フレーム2の上部に、操作ハンドル3aにより操作されるスライドテーブル3が摺動可能に支持され、スライドテーブル3の上部にこのスライドテーブル3の摺動方向に沿って並ぶ2つのキャリア5が隣接して載置可能にされ、台車フレーム2にスライドテーブル3の摺動方向と交叉する方向にハンドル9の操作で移動可能で、かつ、ペダル10の操作によって上下方向に移動可能な単一の移載アーム7が設けられ、移載アーム7にキャリア5のフランジ部5aに係止するスリット部材7aが設けられ、台車フレーム2にキャリア5を搬出入する装置に対する位置決め部11が設けられている。

請求項（抜粋）：

台車フレームの上部に、複数のキャリアが列をなして載置可能なスライドテーブルが、キャリアの配列方向に沿って摺動可能に支持され、台車フレームにスライドテーブルの摺動方向と交叉する方向に移動可能で、かつ、上下方向に移動可能な単一の移載アームが設けられ、移載アームにキャリアの係合部に係止する係止部が設けられ、台車フレームにキャリアを搬出入する装置に対する位置決め部が設けられていることを特徴とする半導体キャリアの移載装置。

IPC (4件)：

B65G 47/52 101 , B62B 3/00 , B65G 43/00 , H01L 21/68

FI (4件)：

B65G 47/52 101 A , B65G 43/00 J , H01L 21/68 A , B62B 3/00 D

Fターム (24件)：

3D050AA11 , 3D050BB01 , 3D050BB21 , 3D050BB22 , 3D050BB23 , 3D050DD03 , 3D050EE08 , 3D050EE15 , 3D050GG06 , 3D050HH03 , 3F027AA10 , 3F027CA01 , 3F027DA02 , 3F044AA13 , 3F044AB25 , 3F044CE07 , 3F044CE21 , 3F044CE46 , 5F031BB01 , 5F031CC12 , 5F031CC18 , 5F031EE03 , 5F031EE04 , 5F031MM02

引用特許：

出願人引用 (2件)

搬送車
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-012306 出願人：神鋼電機株式会社
特開昭58-090213

審査官引用 (2件)

搬送車
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-012306 出願人：神鋼電機株式会社
特開昭58-090213

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