特許
J-GLOBAL ID:200903043249961406

高純度不透明石英ガラス及びその製造方法並びにその用途

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 本多 小平 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-164092
公開番号(公開出願番号):特開平9-012325
出願日: 1995年06月29日
公開日(公表日): 1997年01月14日
要約:
【要約】【目的】 既存の不透明石英ガラスよりも、熱線遮断性に優れているとともに純度の高い不透明石英ガラス及びその製造方法を提供する。【構成】 平均粒子径が0.5〜10μmの粒子であり、かつLi、Na、K、Fe、Ti、及びAlの一種又は二種以上を不可避的不純物として含む場合にその不純物の含有量が各々1ppm以下である高純度アモルファスシリカ粉末を原料として、成形した後、得られた成形体を1730〜1850°Cで焼成することにより、平均径が20〜40μmの独立気泡を1×106 個〜9×106 個/cm3 含有し、100μm以上の径を有する独立気泡が全気泡中に占める割合が1%以下であるとともに、厚さを1mmとしたときの900nmの波長の光の直線透過率が5%以下の高純度不透明石英ガラスを提供する
請求項(抜粋):
平均径が20〜40μmの1×106 個〜9×106 個/cm3 の独立気泡を含有し、100μm以上の径を有する独立気泡が全気泡中に占める割合が1%以下であるとともに、厚さを1mmとしたときの900nmの波長の光の直線透過率が5%以下であることを特徴とする高純度不透明石英ガラス。
IPC (2件):
C03B 20/00 ,  H01L 21/22 501
FI (2件):
C03B 20/00 ,  H01L 21/22 501 M
引用特許:
審査官引用 (1件)

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