特許
J-GLOBAL ID:200903043281422410

重合性組成物

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 中村 稔 (外6名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-024201
公開番号(公開出願番号):特開平5-224415
出願日: 1992年02月12日
公開日(公表日): 1993年09月03日
要約:
【要約】 (修正有)【構成】 (1) 下記一般式(I)のモノマー〔R1 、R2 、R3 は下記α又はβ群から選択され、少なくとも2ヶは、α群から選択される。α群 CH2=C(R8)-A1-(L2)P-β群 R9-A2-(L3)q-R4 は、水素原子又は、1価の有機基。R5 、R6 、R7 、R8 は、水素原子又はメチル基。R9 は、CH2=C(R8)- 以外の1価の有機基。A1 、A2 、は、-CO-、-CO-NH-、置換又は無置換のフェニレン。L1 、L2 、L3 は、2価の連結基。mは、0又は1、mが0のときnは2以上の整数、mが1のときnは1以上の整数。a、b、cは1以上の整数。p、qは、0又は1。〕、及び(2) 重合開始剤を含有する。【効果】 活性光線又は熱に対して高感度な重合性組成物を提供出来る。
請求項(抜粋):
(1) 少なくとも1種の下記一般式(I)のモノマー【化1】〔式中、R1 、R2 、R3 は下記α又はβ群から選択され、1分子中に少なくとも2ヶは、α群から選択される。α群 CH2=C(R8)-A1-(L2)P-β群 R9-A2-(L3)q-R1 、R2 、R3 は、互いに同じであっても異なっていても良い。R4 は、水素原子又は、1価の有機基である。R5 、R6 、R7 、R8 は、水素原子又はメチル基である。R9 は、CH2=C(R8)- 以外の1価の有機基である。A1 、A2 、は、-CO-、-CO-NH-、置換又は無置換のフェニレンであり、同じであっても異なっていても良い。L1 、L2 、L3 は、2価の連結基であり、同じであっても異なっていてもよい。mは、0又は1であり、mが0のときnは2以上の整数であり、mが1のときnは1以上の整数である。a、b、cは1以上の整数であり、互いに同じであっても異なっていても良い。p、qは、0又は1である。〕、及び(2) 重合開始剤を含有することを特徴とする重合性組成物。
IPC (7件):
G03F 7/038 ,  G03F 7/00 501 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/028 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/00
引用特許:
審査官引用 (2件)

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