特許
J-GLOBAL ID：200903043304749489
高速薄板冷却装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-168092
公開番号（公開出願番号）：特開平10-339545
出願日： 1997年06月10日
公開日（公表日）： 1998年12月22日
要約：
【要約】【課題】 サーモモジュール利用の薄板冷却装置において、薄板の冷却の高速化による薄板の冷却時間の短縮と同時に、薄板の種類の変更等に伴う設定冷却目標温度の変更に即応可能にする。【解決手段】 上面を薄板Wの冷却面10とした冷却プレート1と、蓄熱体を形成する中間プレート2との間に、上段サーモモジュール3を挟むと共に、上記中間プレートとその下方に位置する水冷板3との間に、下段サーモモジュール5を挟む。温度コントローラ6は、上記両サーモモジュール4,5を作動させて、冷却プレート1から中間プレート2に、中間プレート2から冷却板3に向って熱輸送し、冷却プレート1の温度を設定目標温度に制御する。
請求項（抜粋）：
薄板を冷却するための装置であって、上面を薄板の冷却面とした冷却プレートと蓄熱体を形成する中間プレートとの間に上段サーモモジュールを挟むと共に、上記中間プレートとその下方に位置する水冷板との間に下段サーモモジュールを挟み、且つ、上記両サーモモジュールを作動させて、冷却プレートから中間プレートに、中間プレートから冷却板に向って熱輸送し、冷却プレートの温度を設定目標温度に制御する温度コントローラを備えた、ことを特徴とする高速薄板冷却装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
F25D 13/00 Z
, F25B 21/02 B
, F25B 21/02 F
