接触子機構

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：國分孝悦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-063857
公開番号（公開出願番号）：特開2000-260516
出願日： 1999年03月10日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：

【要約】【課題】真空内で適正機能を発揮し得る接触子機構を提供する。【解決手段】真空状態で気密保持可能な容器内にて、容器内に配置される基板14上の配線に対して容器外より電気的な接続を行い得るようにした少なくとも1つの接触子8を含む。接触子8の先端に導電性、耐食性膜をコーティング、好適には金属をコーティングする。機械的に接触子先端をクリーニングする機構、さらに化学的または物理的に接触子先端をクリーニングする機構を有する。クリーニング後に接触子8先端を耐食性、導電性膜をコートする機構を有する。これらの機構を設けることにより、接触子先端を常に清浄な状態に保つ。

請求項（抜粋）：

真空状態で気密保持可能な容器内にて、容器内に配置される基板上の配線に対して容器外より電気的な接続を行い得るようにした少なくとも1つの接触子を含むことを特徴とする接触子機構。

IPC (4件)：

H01R 13/03 , G01R 1/06 , G01R 31/28 , H01J 9/42

FI (4件)：

H01R 13/03 Z , G01R 1/06 E , H01J 9/42 A , G01R 31/28 K

Fターム (14件)：

2G011AA10 , 2G011AA15 , 2G011AB01 , 2G011AC13 , 2G011AC14 , 2G011AE01 , 2G011AF06 , 2G032AA00 , 2G032AB01 , 2G032AD08 , 2G032AF02 , 2G032AF04 , 2G032AL03 , 5C012AA01

引用特許：

出願人引用 (3件)

フラットパネルの検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-245299 出願人：株式会社神戸製鋼所, マルホ発條工業株式会社
特開平2-138883
特開平2-044746

審査官引用 (3件)

フラットパネルの検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-245299 出願人：株式会社神戸製鋼所, マルホ発條工業株式会社
特開平2-138883
特開平2-044746

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