特許
J-GLOBAL ID：200903043390786324
光量照度調整装置及びそれを備えた試料検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西脇 民雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-146363
公開番号（公開出願番号）：特開2002-340786
出願日： 2001年05月16日
公開日（公表日）： 2002年11月27日
要約：
【要約】【課題】照明光の光量調整を専用の光学部材を用いずに行うことのできるようにすること。また、照明光の光量調整を無段階で行えるようにすること。【解決手段】 所定照度の照明光により試料11を照射するための照明装置(積分球6及び光トラップ面9)と、照明光源1により発光された所定照度の照明光を照明装置に導光するための一対の導光手段3、4と、該一対の導光手段3、4により導光された所定照度の照明光により試料11の欠陥等を検査するための試料検査装置であって、前記光源1側の前記導光手段3、4の端面と前記試料11側の前記導光手段3、4の端面の間隔を調整し、前記光源1側の前記導光手段3、4から前記試料11側の前記導光手段3、4への光入射量を調整することにより、前記試料11に対する照射光量又は照射照度を調整する光量照度調整手段14,15を設けたことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
所定照度の照明光により試料を照射するための照明装置と、照明光源により発光された照明光を前記照明装置に導光するための一対の導光手段を備えた光量調整装置において、前記照明光源側の導光手段の端面と前記試料側の導光手段の端面の間隔を調整し、前記照明光源側の導光手段から前記試料側の導光手段への入射光量を増減させることにより、前記試料に対する照射光量又は照射照度を調整することを特徴とする光量照度調整装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/01 D
, G02B 19/00
2G059AA05
, 2G059BB15
, 2G059EE01
, 2G059JJ11
, 2G059JJ16
, 2G059JJ17
, 2G059JJ22
, 2G059KK07
, 2G059PP10
, 2H052AC26
, 2H052AC27
, 2H052AC28
