特許
J-GLOBAL ID：200903043410317504
ビームホモジェナイザーおよびレーザー照射装置およびレーザー照射方法および半導体デバイス
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-282566
公開番号（公開出願番号）：特開平11-109280
出願日： 1997年09月30日
公開日（公表日）： 1999年04月23日
要約：
【要約】【課題】 レーザー光の照射ムラを改善する。【解決手段】 ビームホモジェナイザーにおいて、縦方向に光をN(n′-1)分割する役割を果たす光学レンズと、光を横方向に(2n+1)分割する役割を果たす他の光学レンズと、前記縦横に分割された光を(n′-1)個に再結合しつつ、前記(n′-1)個の光を横方向に互いにずらしあって重ね合わせる役割を果たす光学レンズと、前記縦方向に分割された光を再結合させる役割を果たす他の光学レンズと、を少なくとも有する。
請求項（抜粋）：
レーザー光を分割し、かつ前記分割されたレーザー光を再結合させることにより、正弦波状の定常波を照射面上に形成させる機能を有することを特徴とするビームホモジェナイザー。
引用特許：
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