特許
J-GLOBAL ID：200903043442535635
通気性を有するフィルムを備えるスタンパーと該スタンパーを備える成形装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
稲葉 良幸
, 田中 克郎
, 大賀 眞司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-077357
公開番号（公開出願番号）：特開2005-267726
出願日： 2004年03月18日
公開日（公表日）： 2005年09月29日
要約：
【課題】スタンパーを金属製ステージに貼り付ける時に、両者間に存する空気に起因して、スタンパーの表面に凹凸が発生すろことを回避する。【解決手段】スタンパー30の金属製ステージ10上に固定化する方法であって、スタンパー30および金属製ステージ10を準備する工程と、スタンパー30と金属製ステージ10との間に、通気性を有するフィルム20を配設する工程とを含み、通気性を有するフィルム20は両面接着シートを介して固定化される。フィルムは、厚みが5〜1000μm、空孔率が10〜70%であるものを用いる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
スタンパーの金属製ステージ上への固定化方法であって、
(1)前記スタンパーおよび前記金属製ステージを準備する工程と、
(2)前記スタンパーと前記金属製ステージとの間に、通気性を有するフィルムを配設する工程と、
を含む固定化方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (3件)：
5D121DD07
, 5D121DD17
, 5D121DD18
出願人引用 (1件)
審査官引用 (7件)
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