ワークの洗浄方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：永田良昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-048170
公開番号（公開出願番号）：特開平9-215964
出願日： 1996年02月08日
公開日（公表日）： 1997年08月19日
要約：

【要約】【課題】前置洗浄溶剤でワークを前洗浄した後に、前洗浄終了後のワークを有機溶剤にて洗浄、乾燥することで、有機溶剤の負担の大幅な軽減を図り、有機溶剤によるワークの良好な洗浄効率の長期維持を図ると共に、乾燥スピードの向上とランニングコストの低減との両立を図ることができるワークの洗浄方法の提供を目的とする。【解決手段】ワークを洗浄するワークの洗浄方法であって、前置洗浄溶剤Aでワークを前洗浄した後に、前洗浄終了後のワークを有機溶剤層Bに移送して、該有機溶剤Bにてワークに付着した前置洗浄溶剤Aを除去すると共に、該有機溶剤Bにてワークを洗浄および乾燥することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

ワークを洗浄するワークの洗浄方法であって、前置洗浄溶剤でワークを前洗浄した後に、前洗浄終了後のワークを有機溶剤層に移送して、該有機溶剤にてワークに付着した前置洗浄溶剤を除去すると共に、該有機溶剤にてワークを洗浄および乾燥するワークの洗浄方法。

引用特許：

出願人引用 (5件)

洗浄乾燥方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-063959 出願人：旭硝子株式会社
精密光学素子洗浄方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-158066 出願人：オリンパス光学工業株式会社
被洗浄物の洗浄方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-282042 出願人：ジヤパン・フイールド株式会社

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審査官引用 (5件)

洗浄乾燥方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-063959 出願人：旭硝子株式会社
精密洗浄方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-110890 出願人：株式会社研精舎
洗浄乾燥方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-335604 出願人：旭硝子株式会社

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