特許
J-GLOBAL ID：200903043461885531

光変調素子の駆動方法及び光変調素子並びにそれを用いた露光装置、平面表示装置

発明者：
木村 宏一

木村 宏一 について


出願人/特許権者：
富士写真フイルム株式会社

富士写真フイルム株式会社 について


代理人 (1件)： 小栗 昌平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-220733
公開番号（公開出願番号）：特開2002-040339
出願日： 2000年07月21日
公開日（公表日）： 2002年02月06日
要約：
【要約】【課題】 高速変調やアレイ化の不要な安価な光源が使用可能になり、しかも、構造が簡素で、高精度な位置合わせが不要になる光変調素子の駆動方法及び光変調素子並びにそれを用いた露光装置、平面表示装置を提供する。【解決手段】 光源23からの光を伝搬させる導光体27と、この導光体27の境界面に対面して設けられる主可撓薄膜33と、主可撓薄膜33より光伝搬方向下流側で導光体27の境界面に対面して設けられる副可撓薄膜35とを備え、電気機械動作により主可撓薄膜33と境界面との距離を変化させて導光体27を伝搬する光の透過率を変化させるとともに、電気機械動作により副可撓薄膜35と境界面との距離を変化させ、導光体27を伝搬する透過光の光路を偏向させて導光体27から外部へ出射される光を制御する。
請求項（抜粋）：
光源からの光を伝搬させる導光体と、該導光体の境界面に対面して設けられる主可撓薄膜と、該主可撓薄膜より光伝搬方向下流側で前記導光体の境界面に対面して設けられる副可撓薄膜とを備え、電気機械動作により主可撓薄膜と境界面との距離を変化させて導光体を伝搬する光の透過率を変化させるとともに、電気機械動作により副可撓薄膜と境界面との距離を変化させ、導光体を伝搬する透過光の光路を偏向させて前記導光体から外部へ出射される光を制御することを特徴とする光変調素子の駆動方法。
IPC (4件)：
G02B 26/08 ,  F21S 2/00 ,  G09F 9/00 324 ,  H04N 5/66
FI (4件)：
G02B 26/08 A ,  G09F 9/00 324 ,  H04N 5/66 Z ,  F21S 1/00 F
Fターム (18件)：
2H041AA16 ,  2H041AB40 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ01 ,  2H041AZ05 ,  2H041AZ08 ,  5C058AA18 ,  5C058BA23 ,  5C058BA35 ,  5G435AA17 ,  5G435BB15 ,  5G435CC12 ,  5G435EE30 ,  5G435FF08 ,  5G435FF15 ,  5G435GG27 ,  5G435LL04 ,  5G435LL13
引用特許：
審査官引用 (4件)
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