特許
J-GLOBAL ID：200903043476293517
蒸着装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
渡辺 敬介
, 山口 芳広
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-313255
公開番号（公開出願番号）：特開2006-124761
出願日： 2004年10月28日
公開日（公表日）： 2006年05月18日
要約：
【課題】 マスクに弛みやシワが無い状態を維持できるようにして、長期に亘って安定した蒸着パターンを得ることができる蒸着装置を提供する。【解決手段】 マスクストック室46とこれに連通している蒸着室36とを有し、マスクストック室46あるいは蒸着室36の少なくとも何れか一方が、収容されているマスク1を加熱する加熱手段を有することを特徴とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
マスクストック室と前記マスクストック室と連通している蒸着室とを有する蒸着装置において、
前記マスクストック室あるいは前記蒸着室の少なくとも何れか一方が、収容されているマスクを加熱する加熱手段を有することを特徴とする蒸着装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (2件)：
引用特許：
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