特許
J-GLOBAL ID:200903043512703018
反射防止膜
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
青山 葆 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-197640
公開番号(公開出願番号):特開平10-039105
出願日: 1996年07月26日
公開日(公表日): 1998年02月13日
要約:
【要約】【課題】 可視波長領域の全体にわたって反射率が著しく低く、且つ可視波長領域全体にわたって光のP成分の反射とS成分の反射とを同じ程度に防止できる反射防止膜を提供する。【解決手段】 基板材料上に積層された複数の薄層から構成されている反射防止膜であって、最も入射媒質側に形成された第1層の材料の屈折率n<SB>1</SB>が1.35<n<SB>1</SB><1.50の範囲にあり、入射媒質側から数えて第2番目以降基板側に形成された第i層の材料の屈折率n<SB>i</SB>(i=2,3,4・・・)が、いずれも1.56<n<SB>i</SB><2.40の範囲にあることを特徴とする反射防止膜。また上記に於いて入射媒質側から数えて第2番目に形成された第2層の材料の屈折率n<SB>2</SB>と、第3番目に形成された第3層の材料の屈折率n<SB>3</SB>は、いずれも1.85<n<SB>i</SB><2.40(i=2,3)の範囲にあるとともに、n<SB>2</SB>>n<SB>3</SB>であることを特徴とする反射防止膜。
請求項(抜粋):
基板材料上に積層された複数の薄層から構成されている反射防止膜であって、最も入射媒質側に形成された第1層の材料の屈折率n<SB>1</SB>が1.35<n<SB>1</SB><1.50の範囲にあり、入射媒質側から数えて第2番目以降基板側に形成された第i層の材料の屈折率n<SB>i</SB>(i=2,3,4・・・)が、いずれも1.56<n<SB>i</SB><2.40の範囲にあることを特徴とする反射防止膜。
IPC (2件):
G02B 1/11
, B32B 7/02 103
FI (2件):
G02B 1/10 A
, B32B 7/02 103
引用特許: