特許
J-GLOBAL ID:200903043527398076

光学的な開口の作製方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 坂上 正明
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-367561
公開番号(公開出願番号):特開2002-168760
出願日: 2000年12月01日
公開日(公表日): 2002年06月14日
要約:
【要約】【課題】 簡便な方法で均一な開口径を有する光学的な開口を形成する方法を提供すること。【解決手段】 錐状突起と前記錐状突起の近傍に配置され、前記錐状突起と略同じ高さを有するストッパーと、少なくとも前記錐状突起上に形成された遮光膜からなる被開口形成体に対して、押し込み用具で、少なくとも前記錐状突起および前記ストッパーの少なくとも一部を覆うような略平面を有する押し込み体を、前記チップに向かって変位させることによって、前記チップ先端に光学的な開口を形成することを特徴とする光学的な開口の作製方法。
請求項(抜粋):
少なくとも略先端を除いて十分な厚さを持つ遮光膜で覆われた微小突起先端に光学的な開口を作製する方法において、錐状突起と、前記錐状突起の近傍に配置され、前記錐状突起と略同じ高さを有するストッパーと、前記錐状突起上に形成された遮光膜からなる被開口形成体に対して、押し込み用具が、少なくとも前記錐状突起及び前記ストッパーの少なくとも一部を覆うような略平面を有する押し込み体を、前記錐状突起に向かって変位させることにより、前記錐状突起先端に光学的な開口を形成することを特徴とする光学的な開口の作製方法。
IPC (2件):
G01N 13/14 ,  G12B 21/06
FI (2件):
G01N 13/14 B ,  G12B 1/00 601 C
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 光学的な開口の作製方法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2000-367560   出願人:セイコーインスツルメンツ株式会社

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