特許
J-GLOBAL ID：200903066476488679
光学的な開口の作製方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
坂上 正明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-367560
公開番号（公開出願番号）：特開2002-168759
出願日： 2000年12月01日
公開日（公表日）： 2002年06月14日
要約：
【要約】【課題】 本発明の課題は、簡便な方法で任意の開口サイズを有する微小開口を形成する方法を提供することである。【解決手段】錘状突起部と前記錘状突起部の近傍に配置された開口制御部と、少なくとも前記錘状突起部上に形成された遮光膜からなる被開口形成体に対して、前記錘状突起部および前記開口制御部の少なくとも1部を覆うような面を有する押し込み体を、前記錘状突起部に向かう成分を有する力によって変位させることによって前記錘状突起部の先端に光学的な開口を形成する。
請求項（抜粋）：
基板と、前記基板に形成された所望の波長を透過する錘状突起部と、前記錘状突起部の近傍に配置された開口制御部と、少なくとも前記錘状突起部上に形成された遮光膜からなる被開口形成体に対して、前記錘状突起部および前記開口制御部の少なくとも一部を覆うような面を有する押し込み体を、前記錘状突起部に向かう成分を有する力により前記被開口形成体に押し当てることにより前記錘状突起部の先端に光学的な開口を形成することを特徴とする光学的な開口作製方法。
IPC (3件)：
G01N 13/14
, B82B 3/00
, G12B 21/06
G01N 13/14 B
, B82B 3/00
, G12B 1/00 601 C
