特許

J-GLOBAL ID：200903043545115642

熱処理炉用温度計

発明者： 馬場 則夫 ,  加藤 一生
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 金坂 憲幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-208773
公開番号（公開出願番号）：特開2001-033314
出願日： 1999年07月23日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
要約：

【要約】【課題】 高温使用での熱電対の断線を有効に防止する。【解決手段】 先端部に白金と白金ロジウムからなる熱電対20を配した絶縁管19を炭化ケイ素からなる保護管21内に収容し、該保護管21の入口部を封止材22で封止してなる熱処理炉用温度計において、前記保護管21が温度計の使用温度以上の温度で予め熱処理されている。

請求項（抜粋）：

先端部に白金と白金ロジウムからなる熱電対を配した絶縁管を炭化ケイ素からなる保護管内に収容し、該保護管の入口部を封止材で封止してなる熱処理炉用温度計において、前記保護管が温度計の使用温度以上の温度で予め熱処理されていることを特徴とする熱処理炉用温度計。

IPC (2件)：

G01K 1/08 ,  G01K 7/02

FI (2件)：

G01K 1/08 P ,  G01K 7/02 C

Fターム (10件)：

2F056BP01 ,  2F056BP05 ,  2F056BP06 ,  2F056BP07 ,  2F056KC01 ,  2F056KC06 ,  2F056KC08 ,  2F056KC11 ,  2F056KC14 ,  2F056KC18

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 温度計
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-019959   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン東北株式会社, 山里産業株式会社
• 特開平1-288739
  
• 特開平1-299422
  
• 特開平1-288739
  
• 特開平1-299422