特許
J-GLOBAL ID：200903043550358340
保護テープの剥離方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
佐々木 功
, 川村 恭子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-032362
公開番号（公開出願番号）：特開2007-214343
出願日： 2006年02月09日
公開日（公表日）： 2007年08月23日
要約：
【課題】ウェーハに貼着された保護テープを確実に剥離すると共に、剥離時にウェーハを破損させないようにする。【解決手段】保護テープT1の外周側面側に剥離テープT2をオーバーハング状態で貼着し、その状態から剥離テープT2を巻き取って保護テープT1を剥離することにより、確実にウェーハWの表面から保護テープT1を剥離する。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
ウェーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウェーハの表面に貼着された保護テープを剥離するための剥離テープを保護テープに貼着する剥離テープ貼着手段と、該剥離テープと該チャックテーブルとを相対的に移動させる駆動手段とを備え、
該剥離テープ貼着手段は、未使用の剥離テープが巻かれた未使用ロール部と、使用済みの剥離テープを巻き取る使用済みロール部と、該未使用ロール部と該使用済みロール部との間において該剥離テープを該保護テープに押圧する押圧部と、
未使用の剥離テープを該未使用ロール部から該押圧部側に供給する順方向作動及び使用済みの剥離テープを該使用済みロール部から該押圧部側に戻す逆方向作動が可能な剥離テープ送り部と
を備えたテープ剥離装置における保護テープの剥離方法であって、
該剥離テープ送り部の該順方向作動により該押圧部に未使用の剥離テープを供給する剥離テープ供給工程と、
該チャックテーブルに保持されたウェーハの表面に貼着された保護テープに該押圧部をあてがって未使用の剥離テープを該保護テープに貼着し、その後、該駆動手段によって該チャックテーブルを移動させて該保護テープの端部まで剥離テープを貼着する剥離テープ貼着工程と、
該剥離テープ送り部を該逆方向作動させ該剥離テープを弛ませて該保護テープの外周側面側に該剥離テープをオーバーハングさせる剥離テープオーバーハング工程と、
該駆動手段及び該剥離テープ送り部の順方向作動により使用済みの剥離テープを該使用済みロール部によって巻き取りながら該ウェーハの表面から該保護テープを剥離する剥離工程と
から構成される保護テープの剥離方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (7件)：
5F031CA02
, 5F031DA15
, 5F031HA13
, 5F031HA57
, 5F031LA12
, 5F031MA38
, 5F031PA20
