特許

J-GLOBAL ID：200903043555838103

複数の基準電圧発生回路を含む半導体装置及びその製造方法

発明者： 植田 忠義 ,  田中 満弘
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (2件)： 河宮 治 ,  石野 正弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-345963
公開番号（公開出願番号）：特開2005-116634
出願日： 2003年10月03日
公開日（公表日）： 2005年04月28日
要約：

【課題】 ウエハテスト1の工程の大幅な時間短縮が可能となり、半導体装置のコストダウンにも貢献できる複数の基準電圧発生回路を含む半導体装置及びその製造方法を得る。【解決手段】 定電圧回路を1チップ内に複数含んだ半導体装置に、該定電圧回路で使用されている基準電圧発生回路と同じ構成でかつ同一特性のモニタ基準電圧発生回路を備え、該モニタ基準電圧発生回路は、テストプローブ接触用の専用パッド(T1)〜(T3)を備えており、モニタ基準電圧発生回路だけの消費電流(I)と基準電圧(Vref)が測定可能になるようにした。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

ウエハ上に多数形成された半導体装置の1チップ上に、複数の基準電圧発生回路を備え、該基準電圧発生回路の出力電圧及び/又は消費電流を、前記チップ内の回路で利用する半導体装置において、 前記基準電圧発生回路と同一の回路構成のモニタ基準電圧発生回路を前記チップ上に作成したことを特徴とする半導体装置。

IPC (3件)：

H01L21/822 ,  G05F3/24 ,  H01L27/04

FI (4件)：

H01L27/04 B ,  G05F3/24 B ,  H01L27/04 T ,  H01L27/04 V

Fターム (18件)：

5F038AR21 ,  5F038AV03 ,  5F038AV15 ,  5F038BB04 ,  5F038BB05 ,  5F038BB07 ,  5F038BH11 ,  5F038DF01 ,  5F038DT04 ,  5F038DT12 ,  5F038EZ20 ,  5H420NA16 ,  5H420NA27 ,  5H420NB02 ,  5H420NB25 ,  5H420NC02 ,  5H420NC03 ,  5H420NC25

引用特許：

出願人引用 (2件)

• トリミング方法及び回路
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-306008   出願人：日本電気株式会社
• 半導体装置の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-119472   出願人：ソニー株式会社