特許

J-GLOBAL ID：200903043572620537

リニアモータおよびこれを用いたステージ装置ならびに露光装置

発明者： 鎌田 重人 ,  松木 敏雄
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-294571
公開番号（公開出願番号）：特開平10-127035
出願日： 1996年10月16日
公開日（公表日）： 1998年05月15日
要約：

【要約】【課題】 リニアモータのコイルを冷却する冷却ジャケットに渦電流等が発生して、駆動効率が低下するのを防ぐ。【解決手段】 ウエハステージのYリニアモータ40の可動子41は、互に対向する一対の磁石41aを有し、固定子42を貫通させる開口を有する中空枠体である。固定子42は、冷却ジャケット42bに内蔵されたコイル列42aを有し、冷却ジャケット42bの流路42dを流動する冷媒によってコイル列42aの各コイルを冷却する。冷却ジャケット42bをセラミック等の絶縁体によって構成することで、渦電流を防ぐ。

請求項（抜粋）：

磁石を有する磁気手段と、該磁気手段の前記磁石に対向するコイル面を有するコイルと、該コイルの少なくとも前記コイル面を強制冷却する冷却手段を有し、該冷却手段が、絶縁体によって構成されていることを特徴とするリニアモータ。

IPC (6件)：

H02K 41/02 ,  B23Q 5/28 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68 ,  H02K 9/00

FI (6件)：

H02K 41/02 Z ,  B23Q 5/28 B ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/68 K ,  H02K 9/00 Z ,  H01L 21/30 515 G

引用特許：

審査官引用 (4件)

• XYステージ装置およびこれに用いるリニアモータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-066197   出願人：キヤノン株式会社
• リニアモータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-310501   出願人：株式会社ニコン
• リニアモータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-199436   出願人：日立金属株式会社
• 特開平1-228131