電子素子の動作特性測定装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：青山葆 , 河宮治 , 大森忠孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-266553
公開番号（公開出願番号）：特開2004-101461
出願日： 2002年09月12日
公開日（公表日）： 2004年04月02日
要約：

【課題】環境温度に敏感である電子素子の動作特性を全自動的にかつ高能率的に測定できる、インデックステーブル型の測定装置を提供すること。【解決手段】ロータリコネクタに代えて、本発明者等が独自に考案したプローブ電極機構体を用いて、回転テーブル内に装着された種々の電子又は電気素子と、該回転テーブルの外部に静止配置された種々の電子又は電気機器間の電気接続を切替可能とする。また、インデックステーブルの間欠的回転に伴って発生する、電子温度コントローラによる制御対象に対する操作量の不連続性を外乱とみなして取り扱い、制御の不連続性を短時間で解消可能とする。更にまた、電子スイッチマトリックス回路により、インデックステーブルの間欠的回転に伴って発生する、該テーブル上の熱電素子と該テーブルの外部周辺に配置された電子温度コントローラ間の対応関係が常に一定の対応関係を保持する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

複数の角度割当て領域を測定ステージとして割り当てたインデックステーブルであって、これらの測定ステージにそれぞれ測定試料載置台が装着され、これらの載置台にそれぞれ測定対象の電子素子が装入されて固定可能とされるとともに各載置台に熱電素子及び温度センサが装着され、一方向に割り出し角度づつ間欠的に回転可能とされたインデックステーブルを含み、上記インデックステーブルの回転停止時、当該インデックステーブルにおける少なくとも1つの測定ステージに対し未測定の電子素子の搬入及び測定済の電子素子の搬出を行う一方、その他の測定ステージにおいて、それぞれ、対応する電子温度コントローラにより上記温度センサの検出温度に基づいて上記熱電素子をフィードバック補償しながら当該載置台に固定された電子素子を作動させて該電子素子の所定の動作特性を測定し、上記インデックステーブルを逐次回転させながら上記電子素子の諸動作特性を測定する、インデックステーブル型の電子素子の動作特性測定装置であって、上記インデックステーブルにおける各測定ステージの外周縁部にそれぞれ装着された、複数のプレート電極を有する電極板と、上記インデックステーブルの回転停止時、該インデックステーブルにおける上記電極板とそれぞれ対向するように配置されたプローブ電極アッセンブリであって、上記電極板における対応するプレート電極に向かって前進して該プレート電極と圧接可能とした複数のプローブ電極を有する、プローブ電極アッセンブリとにより形成され、上記インデックステーブルの回転時、該インデックステーブルの外周縁部における電極板から全てのプローブ電極が離間するように後退可能とした複数のプローブ電極機構体を設け、上記インデックステーブルの外部周辺に、該インデックステーブルにおける複数の測定ステージにそれぞれ対応する、電子温度コントローラ、これらの測定ステージにおける熱電素子を駆動する駆動回路、測定対象の電子素子を作動させる駆動回路及び該作動電子素子の測定しようとする動作特性に見合った測定器を配置し、該インデックステーブルの回転停止時、これらの電子温度コントローラ、熱電素子駆動回路、電子素子駆動回路及び測定器を、それぞれ、対応する上記プローブ電極機構体を介して上記インデックステーブルにおける対応する測定ステージ内の熱電素子、温度センサ、電子素子及び特定の測定器と電気接続可能とする一方、これらのプローブ電極機構体におけるプローブ電極アッセンブリを当該インデックステーブルの外周縁部から離間するように後退させることにより該インデックステーブルを回転可能とし、上記インデックステーブルを間欠的に回転させながら各測定ステージにおいて電子素子についての諸動作特性を測定するようにした、電子素子の動作特性測定装置。

IPC (1件)：

G01R31/26

FI (4件)：

G01R31/26 Z , G01R31/26 F , G01R31/26 H , G01R31/26 J

Fターム (8件)：

2G003AA06 , 2G003AB01 , 2G003AD01 , 2G003AF05 , 2G003AF06 , 2G003AG12 , 2G003AH01 , 2G003AH04

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭51-140578
特開昭61-169776
通電エージング方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-277438 出願人：ノーゼルエンジニアリング株式会社

前のページに戻る