特許

J-GLOBAL ID：200903043632924042

CSP基板分割装置

発明者： 吉村 栄一 ,  富樫 謙 ,  波岡 伸一
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (1件)： 佐々木 功 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-251635
公開番号（公開出願番号）：特開2001-077057
出願日： 1999年09月06日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
要約：

【要約】【課題】 CSP基板を切削して個々のペレットに分割し、個々のペレットを搬送トレーに収容する場合において、搬送トレーへの収容前にペレットの裏面に付着したコンタミを除去する。【解決手段】 CSP基板を切削して個々のペレットに分割し、個々のペレットを搬送トレーに移し替えるCSP基板分割装置10において、ペレットに分割済みのCSP基板が載置されるCSP基板用テーブル75と、個々のペレットが収容される搬送トレーが載置される搬送トレー載置領域80と、CSP基板用テーブル75に載置された分割済みのCSP基板からペレットを取り上げ搬送トレー載置領域に載置された搬送トレーの所定位置にペレットを収容するピックアップ手段81とを少なくとも含み、CSP基板用テーブル75から搬送トレー載置領域80までのペレットの搬送経路に、個々のペレットを洗浄するペレット洗浄手段1を配設する。

請求項（抜粋）：

CSP基板を切削して個々のペレットに分割し、該個々のペレットを搬送トレーに移し替えるCSP基板分割装置であって、ペレットに分割済みのCSP基板が載置されるCSP基板用テーブルと、個々のペレットが収容される搬送トレーが載置される搬送トレー載置領域と、該CSP基板用テーブルに載置された分割済みのCSP基板からペレットを取り上げ該搬送トレー載置領域に載置された搬送トレーの所定位置に該ペレットを収容するピックアップ手段とを少なくとも含み、該CSP基板用テーブルから該搬送トレー載置領域までのペレットの搬送経路に、個々のペレットを洗浄するペレット洗浄手段を配設したCSP基板分割装置。

IPC (3件)：

H01L 21/301 ,  H01L 21/304 643 ,  H01L 21/56

FI (4件)：

H01L 21/78 N ,  H01L 21/304 643 Z ,  H01L 21/56 R ,  H01L 21/78 Y

Fターム (4件)：

5F061AA01 ,  5F061BA03 ,  5F061CA21 ,  5F061CB13

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開平1-101112
  
• 半導体ウェーハの両面洗浄装置及び半導体ウェーハのポリッシング方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-139156   出願人：株式会社東芝
• 特開昭63-126227
  
• 特開平1-101112
  
• 特開昭63-126227