特許
J-GLOBAL ID：200903043668906296

マイクロ流体素子とその製造方法

発明者：
吉田 善一

吉田 善一 について


出願人/特許権者：
タマティーエルオー株式会社

タマティーエルオー株式会社 について


代理人 (1件)： 飯田 敏三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-332763
公開番号（公開出願番号）：特開2004-167607
出願日： 2002年11月15日
公開日（公表日）： 2004年06月17日
要約：
【課題】分岐や合流を有し、複数の溶液の混合や反応速度を早くする立体構造の流路を有するマイクロ流体素子及びその製造方法を提供する。【解決手段】基板と基板上に形成した複数の樹脂層を有し、前記複数の樹脂層に立体流体回路を形成したマイクロ流体素子。および、(a)基板上に樹脂層を形成し、該樹脂層をレーザ加工により除去して、流体の流路となる所定のパターンの溝を形成し、(b)加工後の樹脂層の表面全体を樹脂コートして次ぎの樹脂層を形成し、該次ぎの樹脂層にレーザ加工で溝、及び/又は、該樹脂コートされたの樹脂層に形成された溝との貫通穴を形成し、加工後の次ぎの樹脂層の表面全体を樹脂コートし、(c)前記(b)工程を繰り返し、(d)最後に樹脂コートし立体の流体回路を形成する工程とからなるマイクロ流体素子の製造方法。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板と基板上に形成した複数の樹脂層を有し、該複数の樹脂層に立体流体回路を形成したことを特徴とするマイクロ流体素子。
IPC (5件)：
B81B1/00 ,  B81C1/00 ,  G01N31/20 ,  G01N35/08 ,  G01N37/00
FI (5件)：
B81B1/00 ,  B81C1/00 ,  G01N31/20 ,  G01N35/08 Z ,  G01N37/00 101
Fターム (21件)：
2G042AA01 ,  2G042BD19 ,  2G042CB03 ,  2G042HA02 ,  2G042HA03 ,  2G042HA06 ,  2G042HA10 ,  2G058AA09 ,  2G058CC05 ,  2G058CC19 ,  2G058DA07 ,  2G058EA03 ,  2G058EA05 ,  2G058EA11 ,  2G058EA19 ,  2G058FA07 ,  2G058FB01 ,  2G058FB14 ,  2G058GA01 ,  2G058GA11 ,  2G058GA20
引用特許：
審査官引用 (4件)
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