導波路型光回路

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：絹谷信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-213405
公開番号（公開出願番号）：特開平11-052158
出願日： 1997年08月07日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：

【要約】【課題】製造プロセスにおいて生じる製造偏差により、コアとクラッドの界面に屈折率の高い不純物層が形成されても、能率良く高次モードを除去できる導波路型光回路を提供する。【解決手段】シリコン基板上に石英系ガラスを積層してコアとクラッドよりなる光導波路8を形成した導波路型光回路13において、上記光導波路8の一部にその光導波路8よりも幅を狭く形成したモードフィルタ22を設ける。これにより、導波路型光回路13に光ファイバやLD、PD等の素子を実装した際に光軸ずれが生じ、高次モードが発生しても、このモードフィルタ22で除去できる。

請求項（抜粋）：

シリコン基板上に石英系ガラスを積層してコアとクラッドよりなる光導波路を形成した導波路型光回路において、上記光導波路の一部にモードフィルタを設けたことを特徴とする導波路型光回路。

引用特許：

審査官引用 (6件)

平面型光学導波路素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-282141 出願人：エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション
光学ブランチ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-089770 出願人：アルカテル・エヌ・ブイ
特開昭61-072207

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