特許

J-GLOBAL ID：200903043699854421

フラッシュランプアニール装置

発明者： ファン,ジャック ,  セア,スティーヴン ,  デイヴィッズ,ポール ,  ナットソン,カーソン
出願人/特許権者： インテル コーポレイション
代理人 (4件)： 伊東 忠彦 ,  大貫 進介 ,  伊東 忠重 ,  杉山 公一
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-533693
公開番号（公開出願番号）：特表2008-515200
出願日： 2005年09月21日
公開日（公表日）： 2008年05月08日
要約：

所定の波長域より大きい波長、及び/又は小さい波長を有する電磁放射線を発生するフラッシュランプアニール装置が開示される。

請求項（抜粋）：

基板を受け入れるチャンバ;及び 前記基板を照射する電磁放射線を発生する1つ以上の光源を含む選択的発光器であって、前記電磁放射線は所定の波長域より大きい、あるいは小さい波長を有し、前記所定の波長域は該波長域内の電磁放射線が前記基板の一部分によって他の部分より効率的に吸収又は反射される波長域である、選択的発光器; を有するシステム。

IPC (1件)：

H01L 21/26

FI (1件)：

H01L21/26 J

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開平3-025928
  
• 特開平4-297581
  
• 特開平3-269948
  
• 特開平1-205483
  
• ランプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-230853   出願人：ウシオ電機株式会社