特許

J-GLOBAL ID：200903043745194466

基板検査装置

発明者： 城ヶ崎 修哉
出願人/特許権者： オリンパス株式会社
代理人 (6件)： 棚井 澄雄 ,  志賀 正武 ,  青山 正和 ,  鈴木 三義 ,  高柴 忠夫 ,  増井 裕士
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-132778
公開番号（公開出願番号）：特開2006-343327
出願日： 2006年05月11日
公開日（公表日）： 2006年12月21日
要約：

【課題】簡単な構成で浮上ステージの隙間上を移動する基板の変形を防止することができる基板検査装置を提供する。【解決手段】基板検査装置は、ガラス基板を浮上させる浮上ステージ3を有し、浮上ステージ3に形成された照明光透過部15には、照明光を散乱する散乱板20が挿入される。散乱板20には保持固定部材21が固定されており、散乱板20の高さは、保持固定部材21に螺入される高さ調整ネジ25により、浮上ステージ3の上面3Aの高さとほぼ一致するように調整される。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

基板を浮上させる浮上ステージと、 前記浮上ステージ上を搬送される前記基板の上面を観察する観察手段と、 前記基板に、前記基板の下面から照明光を照射する透過照明光源と、 前記浮上ステージに形成され、前記照明光が通過可能な隙間からなる照明光通過部と、 前記照明光通過部に嵌め込まれ、前記照明光を透過させる透過部材と を備える基板検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/85 ,  G02F 1/13 ,  G02F 1/133

FI (3件)：

G01N21/85 Z ,  G02F1/13 101 ,  G02F1/1333 500

Fターム (15件)：

2G051AA42 ,  2G051AB02 ,  2G051AC11 ,  2G051AC19 ,  2G051BB03 ,  2G051BB07 ,  2G051BB11 ,  2G051CB02 ,  2G051CC20 ,  2G051DA06 ,  2H088FA11 ,  2H088FA30 ,  2H088MA20 ,  2H090JB02 ,  2H090JC18

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 薄板検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-385118   出願人：石川島播磨重工業株式会社

審査官引用 (4件)

• 薄板検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-385118   出願人：石川島播磨重工業株式会社
• 基板保持装置及び検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-073087   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 表面検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-355115   出願人：日本鋼管株式会社
• 基板検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-074039   出願人：オリンパス株式会社