特許
J-GLOBAL ID：200903043747431554
インクジェットヘッド用弁の製造方法、該方法により製造したインクジェットヘッド用弁及びインクジェットヘッドの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-336059
公開番号（公開出願番号）：特開平11-170546
出願日： 1997年12月05日
公開日（公表日）： 1999年06月29日
要約：
【要約】【課題】 フォトリソ工程を用いた高精度な弁の位置合わせが可能で弁の厚さのコントロールが容易となり、工程の簡略化を図れるインクジェットヘッド用弁の製造方法、該方法により製造したインクジェットヘッド用弁及びインクジェットヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】 インクジェットヘッド用弁をメタルCVD法により製造することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
インクを吐出するための吐出口と、この吐出口に連通するインク流路と、インク流路内にインクを吐出するためのエネルギー発生手段として電気熱変換体を配してなるインクジェット記録装置のインクジェットヘッド用弁の製造方法において、前記インクジェットヘッド用弁をメタルCVD法により製造することを特徴とするインクジェットヘッド用弁の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B41J 3/04 103 H
, B41J 3/04 103 B
