特許
J-GLOBAL ID：200903043757673122
静電チャック
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-046509
公開番号（公開出願番号）：特開平11-251417
出願日： 1998年02月27日
公開日（公表日）： 1999年09月17日
要約：
【要約】【課題】絶縁体表面に残留、形成される導電性の異物による吸着力の劣化、及び異物の被吸着体への付着を防止する。【解決手段】静電電極5を備えた絶縁体1に静電気力による吸着面を設けて成る静電チャックにおいて、前記吸着面に絶縁体層3を形成し、該絶縁体層3上に複数の導電層4を分散して形成した。
請求項（抜粋）：
静電電極を備えた絶縁体に、静電気力によって被吸着体を吸着させる吸着面を設けて成る静電チャックにおいて、前記吸着面に絶縁体層を形成するとともに、該絶縁体層上に複数の導電層を分散して形成したことを特徴とする静電チャック。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 R
, B23Q 3/15 D
