特許

J-GLOBAL ID：200903043759086720

水酸基含有アクリル酸エステルおよびその用途

発明者： 長野 英明 ,  帖佐 淳一 ,  山本 佳苗
出願人/特許権者： 株式会社日本触媒
代理人 (1件)： 松本 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-328488
公開番号（公開出願番号）：特開2004-161860
出願日： 2002年11月12日
公開日（公表日）： 2004年06月10日
要約：

【課題】エステル部分の脱離エネルギーが小さく、酸によるエステル部分の脱離が非常に容易であり、しかも高純度な水酸基含有アクリル酸エステルを提供する。【解決手段】水酸基含有アクリル酸エステルは、一般式(1)【化1】(式(1)中、R1は水素原子または有機残基を表し、R2は有機残基を表し、ZはR2が結合している3級炭素原子を含んで形成される脂環構造を表す。)で表されるものであって、不純物として含まれる一般式(2)【化2】(式(2)中のR1は、式(1)中のR1と同じである。)で表されるカルボキシル基含有化合物とアクリル酸との総量が1.0重量%以下であることを特徴とする。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

下記一般式(1)

IPC (3件)：

C08F20/26 ,  C07C69/732 ,  G03F7/039

FI (3件)：

C08F20/26 ,  C07C69/732 Z ,  G03F7/039 601

Fターム (32件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AA09 ,  2H025AA14 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025CB14 ,  2H025CB43 ,  2H025CB45 ,  2H025FA17 ,  4H006AA01 ,  4H006AA03 ,  4H006AB46 ,  4H006BJ20 ,  4H006BN10 ,  4H006KC14 ,  4J100AJ03Q ,  4J100AL31P ,  4J100BA03Q ,  4J100BC03P ,  4J100BC04P ,  4J100BC09P ,  4J100BC53P ,  4J100CA01 ,  4J100CA03 ,  4J100DA01 ,  4J100JA38

引用特許：

審査官引用 (1件)

• レジスト組成物およびそれを用いたレジストパターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-308587   出願人：株式会社日本触媒