弾性表面波装置の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：並川啓志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-358671
公開番号（公開出願番号）：特開平6-204779
出願日： 1992年12月28日
公開日（公表日）： 1994年07月22日
要約：

【要約】【目的】くし型電極を圧電性基板上で相互に並列接続した平面構造において、焦電効果によるくし型電極の損傷を防止することのできる製造方法を提供する。【構成】(a)圧電性基板上に金属膜からなり、複数の弾性表面波装置を構成するくし型電極群および該くし型電極群を短絡する短絡パターンを含む電極パターンを形成する工程と、(b)前記圧電性基板を切断することにより、前記短絡パターンを切断するとともにそれぞれの前記くし型電極群に分割する工程とを含む弾性表面波装置の製造方法において、(c)前記くし型電極群が、3組以上のくし型電極および隣接していない該くし型電極の信号側を相互に接続する接続パターンを含み、前記くし型電極の接地側が相互に接続されており、(d)前記短絡パターンが、前記くし型電極の接地側と隣接する前記くし型電極群の接地側とを接続する接地短絡パターンと、前記接続パターンと隣接する前記くし型電極群の接地側とを接続する信号短絡パターンを含む。

請求項（抜粋）：

(a)圧電性基板上に金属膜からなり、複数の弾性表面波装置を構成するくし型電極群および該くし型電極群を短絡する短絡パターンを含む電極パターンを形成する工程と、(b)前記圧電性基板を切断することにより、前記短絡パターンを切断するとともにそれぞれの前記くし型電極群に分割する工程とを含む弾性表面波装置の製造方法において、(c)前記くし型電極群が、3組以上のくし型電極および隣接していない該くし型電極の信号側を相互に接続する接続パターンを含み、前記くし型電極の接地側が相互に接続されており、(d)前記短絡パターンが、前記くし型電極の接地側と隣接する前記くし型電極群の接地側とを接続する接地短絡パターンと、前記接続パターンと隣接する前記くし型電極群の接地側とを接続する信号短絡パターンを含むことを特徴とする弾性表面波装置の製造方法。

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平3-293808
弾性表面波素子の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-101169 出願人：三洋電機株式会社
特開平3-293808

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