特許

J-GLOBAL ID：200903043780390596

転写処理の方法および転写装置

発明者： 掛林 康典 ,  吉田 栄治 ,  住谷 敬志
出願人/特許権者： 株式会社神戸製鋼所
代理人 (2件)： 安田 敏雄 ,  安田 幹雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-303218
公開番号（公開出願番号）：特開2007-115767
出願日： 2005年10月18日
公開日（公表日）： 2007年05月10日
要約：

【課題】モールドの凹凸を被成型物に転写する処理において、被成型物へのモールドの押しつけを適切に行うことができる転写処理の方法および転写装置を提供する。【解決手段】被成型物Wを除いて転写処理の動作速度パターンに従い金型10に押しつけ動作をさせ動作速度の変化を測定して動作速度パターンの指標と関連づけて基準速度Vsとし、動作速度パターンによる転写処理の押しつけ動作において金型支持部7の動作速度を逐次測定し、測定した動作速度と動作速度の測定時における動作速度パターンの指標に対応する速度基準の動作速度とを逐次比較し、同一の指標における測定した動作速度と速度基準の動作速度との差が判定値Vj以上となってから所定距離だけ金型による被成型物への押しつけ動作を継続して行う。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

金型支持部に支持された金型を被成型物に押しつけて前記金型に形成された凹凸を前記被成型物に転写する転写処理の方法であって、 予め、前記被成型物を除いて転写処理における動作速度パターンにしたがい前記金型支持部に押しつけ動作をさせ前記金型支持部の動作速度の変化を測定して前記動作速度パターンの指標と関連づけて基準速度とし、 前記動作速度パターンによる転写処理の押しつけ動作において前記金型支持部の動作速度を逐次測定し、 測定した当該動作速度と当該動作速度の測定時における前記動作速度パターンの指標に対応する前記基準速度とを逐次比較し、 同一の前記指標における前記測定した動作速度と前記基準速度との差が判定値以上となってから所定距離だけ前記金型による前記被成型物への押しつけ動作を継続して行う ことを特徴とする転写処理の方法。

IPC (5件)：

H01L 21/027 ,  B82B 3/00 ,  B81C 5/00 ,  B29C 59/02 ,  B29C 43/58

FI (5件)：

H01L21/30 502D ,  B82B3/00 ,  B81C5/00 ,  B29C59/02 Z ,  B29C43/58

Fターム (25件)：

4F204AA21 ,  4F204AA44 ,  4F204AD08 ,  4F204AF01 ,  4F204AG01 ,  4F204AG05 ,  4F204AR08 ,  4F204FA01 ,  4F204FB01 ,  4F204FN11 ,  4F204FQ01 ,  4F209AA36 ,  4F209AA44 ,  4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AH33 ,  4F209AH73 ,  4F209AR02 ,  4F209AR07 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PC01 ,  4F209PC05 ,  4F209PN13 ,  5F046AA28

引用特許：

出願人引用 (2件)

• ナノインプリント装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-331938   出願人：キヤノン株式会社
• 微細加工方法及び微細加工装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-190393   出願人：キヤノン株式会社