特許

J-GLOBAL ID：200903043801512522

縦型炉

発明者： 鈴木 孝光 ,  稲泉 吉洋 ,  渡辺 誠治
出願人/特許権者： 国際電気株式会社
代理人 (1件)： 三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-244088
公開番号（公開出願番号）：特開平10-070083
出願日： 1996年08月27日
公開日（公表日）： 1998年03月10日
要約：

【要約】【課題】高温領域での使用が継続しても正確な温度測定が可能な縦型炉を提供する。【解決手段】内部に熱電対10が挿入された保護管12が炉内に立設され、前記熱電対を介して炉内の温度測定が行われる縦型炉に於いて、前記保護管がセラミック製の固定ブロック20により支持され、又固定ブロックはセラミック製であるので、高温下でも軟化し変形することがなく、固定ブロックに支持されている保護管が傾くことがなく、保護管が均熱管、反応管等の炉構成物に接触して温度測定に影響を与えることがない。

請求項（抜粋）：

内部に熱電対が挿入された保護管が炉内に立設され、前記熱電対を介して炉内の温度測定が行われる縦型炉に於いて、前記保護管がセラミック製の固定ブロックにより支持されることを特徴とする縦型炉。

IPC (5件)：

H01L 21/22 511 ,  H01L 21/22 501 ,  G01K 1/14 ,  G01K 7/02 ,  H01L 21/205

FI (5件)：

H01L 21/22 511 Q ,  H01L 21/22 501 N ,  G01K 1/14 K ,  G01K 7/02 C ,  H01L 21/205

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 熱処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-323092   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン東北株式会社