特許
J-GLOBAL ID:200903043855509446

導電性ボールの移載装置および移載方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 滝本 智之 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-207408
公開番号(公開出願番号):特開2000-040709
出願日: 1998年07月23日
公開日(公表日): 2000年02月08日
要約:
【要約】【課題】 タクトタイムを短縮し、フラックス付着に起因する不具合を防止することができる導電性ボールの移載装置および移載方法を提供すること。【解決手段】 ボール供給部1の導電性ボール3を、第1の吸着ヘッド4により真空吸着してピックアップし、第1の吸着ヘッド4を反転させて保持された導電性ボール3を、第2の吸着ヘッド9に受け渡す。次いで、第2の吸着ヘッド9をフラックス転写部11に対して昇降させて導電性ボール3にフラックスを転写した後、第2の吸着ヘッド9を移動させて導電性ボール3をワーク16に移載する。これにより、タクトタイムを短縮することができるとともに、ピックアップ用とフラックス転写用の吸着ヘッドを別個のものとすることにより、第1の吸着ヘッド4へのフラックス付着を防止して、ボール供給部1での導電性ボール3のフラックス汚染を防止することができる。
請求項(抜粋):
導電性ボールを供給するボール供給部と、下面に複数の吸着孔が設けられこのボール供給部から真空吸着により導電性ボールをピックアップする第1の吸着ヘッドと、下面に複数の吸着孔が設けられこの第1の吸着ヘッドから導電性ボールを受け取る第2の吸着ヘッドと、前記第2の吸着ヘッドを移動させる移動手段と、前記第2の吸着ヘッドをワークに対して相対的に昇降させることにより第2の吸着ヘッドに保持された導電性ボールを前記ワークに搭載する昇降手段とを備えたことを特徴とする導電性ボールの移載装置。
IPC (3件):
H01L 21/60 ,  H01L 21/60 311 ,  H01L 23/50
FI (4件):
H01L 21/92 604 H ,  H01L 21/60 311 Q ,  H01L 23/50 L ,  H01L 21/92 604 Z
Fターム (3件):
4M105AA19 ,  4M105FF04 ,  5F067DD01
引用特許:
審査官引用 (3件)

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