特許

J-GLOBAL ID：200903043877652145

傾き調整機構及びそれを用いた研削装置

発明者： 高橋 真佐寿
出願人/特許権者： 株式会社不二越
代理人 (1件)： 河内 潤二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-223048
公開番号（公開出願番号）：特開2008-044079
出願日： 2006年08月18日
公開日（公表日）： 2008年02月28日
要約：

【課題】研削装置の基台にワークテーブルを配設するに際し、傾き調整機構を介在させて被加工物の中凸または中凹の傾向を調整する。【解決手段】ワークテーブル15を回転可能に保持する保持部16の外周の鍔部19と基台13とを台座23、30、31を介して弾性部材41により押し付け固定する傾き調整機構25を等分に配置し、台座30,31は引っ張り方向に傾斜面38、40により2分割し、下台座30に設けられた送りねじ軸部材32により該下台座30を基台13に平行に軸心方向に変位することにより引っ張り方向の高さを可変にする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ワークが載置されるワークテーブルと、前記ワークテーブルを回転可能に保持する保持部と、前記保持部の外周に設けられた鍔部と、を備えた研削装置において、 基台側に設けられた調整楔部と、 固定台側に配置された駆動部と、 を備え、前記調整楔部及び前記駆動部は継手部材で連結することにより該調整楔部は該駆動部により前記基台の上面に沿って平行に移動されることを特徴とする傾き調整機構。

IPC (3件)：

B24B 7/16 ,  H01L 21/304 ,  B23Q 1/64

FI (3件)：

B24B7/16 Z ,  H01L21/304 622G ,  B23Q1/64 D

Fターム (4件)：

3C043BA03 ,  3C043BA09 ,  3C043BA16 ,  3C048BB20

引用特許：

出願人引用 (1件)

• ワークテーブル傾き調整装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-206347   出願人：株式会社不二越