特許
J-GLOBAL ID：200903075021204027

ワークテーブル傾き調整装置

発明者：
高橋 真佐寿

高橋 真佐寿 について

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竹原 明秀

竹原 明秀 について

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守田 和仁

守田 和仁 について

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栄 義仁

栄 義仁 について


出願人/特許権者：
株式会社不二越

株式会社不二越 について


代理人 (1件)： 河内 潤二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-206347
公開番号（公開出願番号）：特開2004-042236
出願日： 2002年07月16日
公開日（公表日）： 2004年02月12日
要約：
【課題】高精度でバックラッシュの影響も少なく、高剛性で曲げ力に強く、経年変化しにくく、調整し易く複数設置も容易なワークテーブル傾き調整装置を提供し、平面研削工程でのシリコンウェーハ厚みを均一化し、製品歩留りを向上させる。【解決手段】ワークテーブル21を回転可能に保持する保持部22の外周の鍔部23と基台24とを台座3,4,5を介して弾性部材6により引っ張り固定する調整部2を等分に配設し、台座は引っ張り方向で斜面3a,3bで移動台座3,下台座4に二分割し、下台座に設けられた送りねじ9により移動台座を基台に平行に前後にずらすことにより引っ張り方向長さを可変にする。調整部の一つを鍔部と基台とを固定台座5を介して引っ張り固定する固定部35とする。台座の貫通穴3b,4b,5bを貫通してボルト7,8により鍔部と基台とを引っ張り方向に固定する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
ワークが載置されるワークテーブルと、前記ワークテーブルを回転可能に保持する保持部と、前記保持部の外周に設けられた鍔部と、を備え、前記鍔部と基台とを台座を介して弾性部材により引っ張り固定する調整部が前記鍔に沿って略等分に配設されており、前記台座は前記引っ張り方向で斜面で二分割されており、前記斜面をずらすことにより引っ張り方向長さが可変にされ、かつ、前記斜面をずらす方向は前記斜面に対する前後方向であって、前記基台に平行であることを特徴とするワークテーブル傾き調整装置。
IPC (3件)：
B23Q1/25 ,  B24B7/22 ,  H01L21/304
FI (3件)：
B23Q1/14 C ,  B24B7/22 Z ,  H01L21/304 621B
Fターム (5件)：
3C043BA09 ,  3C043CC04 ,  3C043DD04 ,  3C048BC02 ,  3C048DD11
引用特許：
出願人引用 (6件)
全件表示
審査官引用 (2件)

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