特許

J-GLOBAL ID：200903043883832406

基板処理装置

発明者： 東田 将伸
出願人/特許権者： 株式会社日立国際電気
代理人 (1件)： 宮本 治彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-187406
公開番号（公開出願番号）：特開2001-015573
出願日： 1999年07月01日
公開日（公表日）： 2001年01月19日
要約：

【要約】【課題】停電等により電力の供給が遮断された場合にもその影響を受けることが少ない基板処理装置を提供する。【解決手段】100V電源供給元44と装置41の間に無停電電源43を設置し、停電等によって電力の供給が停止しても無停電電源43より電力を供給し続け、搬送系ロボット31を動かし続ける。また、無停電電源43が停電であることを感知し、本装置システムの制御部42へ停電検知信号を入力する。この信号を受けたシステムの制御部42は、成膜過程を中止し、搬送系ロボット31を、安全な位置まで移動させそこで停止させ、ゲートバルブを閉じる。

請求項（抜粋）：

電源と制御部との間に、停電検出手段を有する無停電電源を介在させ、前記電源からの電力供給遮断時には、前記無停電電源より電力が供給されると共に、停電検出信号が前記制御部に入力され、前記制御部は前記停電検出信号に基づき、実行中の基板処理を中止させ、搬送機構を安全な位置で停止させることを特徴とする基板処理装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  H02J 9/00

FI (2件)：

H01L 21/68 A ,  H02J 9/00 P

Fターム (12件)：

5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031GA43 ,  5F031JA45 ,  5F031MA04 ,  5F031NA09 ,  5F031PA03 ,  5G015GA02 ,  5G015HA04 ,  5G015JA32 ,  5G015JA42 ,  5G015KA06

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開平4-170619
  
• ロボット装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-152341   出願人：三菱電機株式会社
• 特開昭63-154542
  
• 特開平4-170619
  
• 特開昭63-154542