特許
J-GLOBAL ID：200903043897692852
薬液加熱装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木村 高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-203618
公開番号（公開出願番号）：特開2000-035248
出願日： 1998年07月17日
公開日（公表日）： 2000年02月02日
要約：
【要約】【課題】 チャンバを樹脂で形成した場合でもこのチャンバの空炊きや該チャンバ内の薬液の過熱を確実に防止する。【解決手段】 チャンバ(1)内を通過する薬液をこのチャンバ(1)内に配設したランプヒータ(3)の輻射熱によって加熱する薬液加熱装置であって、チャンバ(1)内における薬液の有無を検出する薬液検出センサ(21)と、チャンバ(1)内に感知部(20a)を臨ませた温度センサ(20)と、薬液検出センサ(21)が薬液の不存在を検出した場合および温度センサ(20)が所定以上の温度を検出した場合にそれぞれランプヒータ(3)への通電を禁止する通電禁止手段(19)とを備える。
請求項（抜粋）：
チャンバ内を通過する薬液をこのチャンバ内に配設したランプヒータの輻射熱によって加熱する薬液加熱装置であって、前記チャンバ内における薬液の有無を検出する薬液検出センサと、前記チャンバ内に感知部を臨ませた温度センサと、前記薬液検出センサが前記薬液の不存在を検出した場合および前記温度センサが所定以上の温度を検出した場合にそれぞれ前記ランプヒータへの通電を禁止する通電禁止手段とを備えることを特徴とする薬液加熱装置。
Fターム (4件)：
3L034BA14
, 3L034BA17
, 3L034EA01
, 3L034EA07
