特許

J-GLOBAL ID：200903043907405296

透過電子顕微鏡観測用下地試料、透過電子顕微鏡測定方法、および透過電子顕微鏡装置

発明者： 鎌 田 善 己 ,  高 島 章
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (5件)： 吉武 賢次 ,  橘谷 英俊 ,  佐藤 泰和 ,  吉元 弘 ,  川崎 康
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-076357
公開番号（公開出願番号）：特開2004-286486
出願日： 2003年03月19日
公開日（公表日）： 2004年10月14日
要約：

【課題】簡便に高精度なTEM観察を行うことを可能にする。【解決手段】柱状の突起部に形成された透過電子顕微鏡の電子線が透過可能となる幅を有する一部領域に透過電子顕微鏡測定対象物12を形成した透過電子顕微鏡観察試料10を透過電子顕微鏡のホルダーに収まるよう加工し、この加工された透過電子顕微鏡観察試料を透過電子顕微鏡の筐体内に導入し、透過電子顕微鏡観察試料の一部領域の側部方向から電子線を入射させて透過電子顕微鏡像を得る。【選択図】 図7

請求項（抜粋）：

幅が約300nm以下の一部領域を備える柱状の突起部を有することを特徴とする透過電子顕微鏡観測用下地試料。

IPC (3件)：

G01N1/28 ,  H01J37/20 ,  H01J37/26

FI (4件)：

G01N1/28 F ,  H01J37/20 Z ,  H01J37/26 ,  G01N1/28 G

Fターム (10件)：

2G052AA13 ,  2G052AD32 ,  2G052AD52 ,  2G052EC02 ,  2G052EC14 ,  2G052FD06 ,  2G052GA34 ,  2G052JA09 ,  5C001CC01 ,  5C033SS02

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 試料ホルダ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-049398   出願人：日本電子株式会社

審査官引用 (1件)

• 試料ホルダ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-049398   出願人：日本電子株式会社