特許

J-GLOBAL ID：200903043929305996

蛍光走査型プローブ顕微鏡

発明者： 山田 啓文 ,  松山 克宏 ,  戸田 明敏 ,  近藤 聖二
出願人/特許権者： 工業技術院長 ,  オリンパス光学工業株式会社
代理人 (2件)： 鈴江 武彦 ,  鈴江 武彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-188065
公開番号（公開出願番号）：特開平7-043372
出願日： 1993年07月29日
公開日（公表日）： 1995年02月14日
要約：

【要約】【目的】蛍光顕微鏡と走査プローブ顕微鏡を一体化し、プローブと測定試料の位置合わせが容易にできるように蛍光観察像内のプローブの位置特定が行なえ、任意の蛍光色素のSPMにより測定が可能な蛍光顕微鏡と走査型プローブ顕微鏡を一体化した顕微鏡を得ることにある。【構成】対物レンズ6のワーキングディスタンス内にカンチレバー3と測定試料4を設けた蛍光顕微鏡において、分光特性の異なる2種類の光を、カンチレバー3および測定試料4にそれぞれ照射する照射機構を設け、これにより測定試料4と前記カンチレバー3が両方観察できることを特徴とした蛍光走査型プローブ顕微鏡。

請求項（抜粋）：

蛍光顕微鏡と走査プローブ顕微鏡を一体化し、対物レンズのワーキングディスタンス内にプローブと試料を設けた蛍光顕微鏡において、分光特性の異なる2種類の光を前記プローブおよび前記試料にそれぞれ照射する照射機構を設け、これにより前記試料と前記プローブが両方観察できることを特徴とした蛍光走査型プローブ顕微鏡。

IPC (4件)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  G01N 21/64 ,  G02B 21/00

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-072504
  
• 原子間力顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-305998   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 特開平3-071001