特許
J-GLOBAL ID：200903043931723894
シリカ系膜被覆物品を製造する方法
発明者：
,
,
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大野 精市
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-342439
公開番号（公開出願番号）：特開平11-269657
出願日： 1998年12月02日
公開日（公表日）： 1999年10月05日
要約：
【要約】【課題】 焼成や前処理を必要とせずに、優れたシリカ系膜被覆物品の製造する方法、および前記シリカ系膜を下地膜とし、耐久性に優れた機能性膜被覆物品を、短時間にかつ安全に製造する方法を提供する。【解決手段】 酸およびシリコンアルコキシドをアルコールに溶解してなり、シリコンアルコキシドおよびその加水分解物(部分加水分解物を含む)の少なくともいずれか一つがシリカ換算で 0.010〜3重量%、酸 0.0010〜1.0規定、および水 0〜10重量%を含有するコーティング液を基材に塗布してシリカ系膜を被覆した物品を製造する。また、このシリカ系膜を下地膜として、その上に加水分解可能な基と機能性官能基を有するオルガノシランまたはその加水分解物(部分加水分解物を含む)を塗布して、機能性膜被覆物品を製造する。
請求項（抜粋）：
シリコンアルコキシドおよび酸を含むアルコール溶液からなるコーティング液を基材に塗布するシリカ系膜被覆物品を製造する方法において、前記コーティング液は、(A)シリコンアルコキシドおよびその加水分解物(部分加水分解物を含む)の少なくともいずれか1つ 0.010〜3重量%(シリカ換算)、(B)酸 0.0010〜1.0規定、および(C)水 0〜10重量%、を含有することを特徴とするシリカ系膜被覆物品を製造する方法。
IPC (5件)：
C23C 18/12
, B05D 7/24 302
, C03C 17/30
, H01L 21/316
, C08J 7/06
C23C 18/12
, B05D 7/24 302 Y
, C03C 17/30 A
, H01L 21/316 G
, C08J 7/06 Z
