液晶表示装置の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-273161
公開番号（公開出願番号）：特開平11-109416
出願日： 1997年10月06日
公開日（公表日）： 1999年04月23日
要約：

【要約】【課題】基板作製中の静電気による静電破壊を防ぐと共に液晶工程前に基板の検査および修正を行い、液晶工程中においても静電破壊を防ぐ。【解決手段】走査配線4および信号配線6を短絡配線6cを介して電気的に接続することにより、その後のTFTの保護膜成膜工程等での静電破壊を防ぐ。この保護膜に開口部と再接続用コンタクトホール13bとを形成し、開口部下の短絡配線6c部分を除去することにより、各配線4、6を電気的に切り離した状態で電気的検査を行う。検査後、再接続用コンタクトホール13bの上に短絡配線8aを形成して切り離された各配線4、6を再度接続することにより、その後の液晶工程での静電破壊を防ぐ。

請求項（抜粋）：

表示媒体を挟んで対向配置される一対の基板のうちの一方の基板上に、複数の信号配線と複数の走査配線とが絶縁膜を介して互いに交差して設けられ、各信号配線と各走査配線との交差部近傍に、両配線に電気的に接続されている薄膜トランジスタを有する液晶表示装置を製造する方法であって、該一方の基板に該走査配線、該信号配線および該スイッチング素子を形成すると共に、各信号配線と各走査配線とを配線端部近傍において電気的に接続する第1接続部材を形成する工程と、該走査配線、該信号配線および該スイッチング素子を覆う保護膜を形成する工程と、該薄膜トランジスタ近傍上の保護膜部分に該薄膜トランジスタのドレイン電極まで達するように画像信号入力用コンタクトホールを形成すると共に、該第1接続部材上の保護膜部分に各第1接続部材まで達するように接続切り離し用開口部を形成する工程と、各接続切り離し用開口部から露出している第1接続部材部分を除去して各信号配線と各走査配線とを電気的に切り離し、該一方の基板に対して電気的検査を行う工程とを含む液晶表示装置の製造方法。

IPC (2件)：

G02F 1/136 500 , G01R 31/00

FI (2件)：

G02F 1/136 500 , G01R 31/00

引用特許：

出願人引用 (3件)

液晶表示装置およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-163369 出願人：京セラ株式会社
液晶表示装置及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-260358 出願人：三菱電機株式会社, 旭硝子株式会社
液晶表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-012932 出願人：株式会社東芝, インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション

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