特許
J-GLOBAL ID：200903043970281300
反射防止膜及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-312277
公開番号（公開出願番号）：特開平11-142606
出願日： 1997年11月13日
公開日（公表日）： 1999年05月28日
要約：
【要約】【課題】 紫外波長域で耐環境性能に優れ広帯域幅の反射防止膜を提供する。【解決手段】 高屈折率膜としてAl2 O3 を用い、低屈折率膜としてAlF3またはMgF2 を用い、4または5または6層構成である反射防止膜。膜の形成には真空蒸着法またはスパッタリング法またはCVD法を用いる。
請求項（抜粋）：
波長190nmから250nmの範囲に設計中心波長λ0 をもち、基板側から空気側へ順に屈折率nh の高屈折率層と屈折率nl の低屈折率層の交互多層膜であって、4層構造を有し、基板の屈折率をnとした時、屈折率が、1.35≦nl ≦1.451.60≦nh ≦1.85nl ≦n≦nhを満たし、各層の光学的膜厚(屈折率X幾何学的膜厚)を基板側から数えて第1層から第4層まで順にd1 、d2 、d3 、d4 と表すとき、第1層と第3層が高屈折率層であり、第2層と第4層が低屈折率層であって、0.38λ0 ≦d1 ≦0.43λ00.38λ0 ≦d2 ≦0.43λ00.20λ0 ≦d3 ≦0.25λ00.20λ0 ≦d4 ≦0.25λ0を満たすことを特徴とする反射防止膜。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B 1/10 A
, C23C 14/08 N
