基板の配線検査装置および配線検査方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：振角正一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-347386
公開番号（公開出願番号）：特開2001-041994
出願日： 1999年12月07日
公開日（公表日）： 2001年02月16日
要約：

【要約】【課題】複数の配線の一方端同士が相互に電気的に接続された状態のまま当該配線の良否を、一方端側での電気的接続を維持したまま、正確に検査することができる基板の配線検査装置および配線検査方法を提供する。【解決手段】磁界印加部4は磁界印加領域R1の直上位置に位置決め、磁界印加領域R1に磁界印加する。また、配線21のボールグリッド22に当接されたプローブのうち2本のプローブが選択的に電流検出部8と電気的に接続されて閉回路が形成される。このため、磁界印加領域R1に印加される磁界を構成する磁束の変化に応じて閉回路に誘導電流が流れ、その電流値を電流検出部8の電流検出器81で検出し、この電流値によって短絡不良を判定する。

請求項（抜粋）：

第1および第2配線の一方端同士が相互に電気的に接続された状態で前記第1および第2配線を検査する基板の配線検査装置であって、前記第1および第2配線の一方端側に磁界を印加する磁界印加手段と、前記磁界印加手段に信号を与えて前記磁界を構成する磁束を時間的に変化させる磁界制御手段と、磁束の変化に応じて前記第1配線と前記第2配線との間に流れる電流を検出する電流検出手段と、前記電流検出手段による検出結果に基づき前記第1および第2配線の良否を判定する良否判定手段とを備えたことを特徴とする基板の配線検査装置。

IPC (3件)：

G01R 31/02 , G01R 31/28 , H05K 3/00

FI (3件)：

G01R 31/02 , H05K 3/00 T , G01R 31/28 K

Fターム (20件)：

2G014AA02 , 2G014AA03 , 2G014AB20 , 2G014AB21 , 2G014AB59 , 2G014AC09 , 2G014AC15 , 2G032AC03 , 2G032AD01 , 2G032AD08 , 2G032AE04 , 2G032AE07 , 2G032AE08 , 2G032AE09 , 2G032AE10 , 2G032AE11 , 2G032AF02 , 2G032AG09 , 2G032AH01 , 2G032AK04

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開平1-242972
特開昭55-009146
特開昭55-090864

審査官引用 (8件)

特開平1-242972
特開平1-242972
特開昭55-009146

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