特許
J-GLOBAL ID：200903044006313569
温度センサ及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
奥田 誠 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-037300
公開番号（公開出願番号）：特開2000-234962
出願日： 1999年02月16日
公開日（公表日）： 2000年08月29日
要約：
【要約】【課題】高温使用時にサーミスタ素子雰囲気中の酸素濃度を安定に保ち、サーミスタ素子の特性変化を抑えて温度センサの検出精度の低下を抑えること。【解決手段】温度センサ1を構成する金属チューブ3の先端側には、サーミスタよりなるサーミスタ素子2が密閉収容される。サーミスタ素子2に近接する金属チューブ3、フランジ4及びシース8の表面には、0.5〜5.0μmの膜厚を有する酸化クロムからなる酸化被膜が設けられる。酸化被膜には、酸化クロムのみよりなる被膜、酸化クロムを主体とする被膜が含まれる。サーミスタ素子2に近接する金属包囲部材3,4,8をクロム元素を含有する耐熱合金(SUS309S,SUS310S)により形成し、それら金属包囲部材3,4,8を水素-水蒸気雰囲気中で加熱処理することにより、各金属包囲部材3,4,8の表面に酸化クロムが選択的に生成されて酸化被膜が形成される。
請求項（抜粋）：
サーミスタ素子を一又は複数の包囲部材で形成される密閉空間内に収容した温度センサにおいて、前記一又は複数の包囲部材のうち少なくとも前記密閉空間内に露出し前記サーミスタ素子に近接して配置された金属部分の表面に実質的に酸化クロムからなる酸化被膜を設けたことを特徴とする温度センサ。
Fターム (3件)：
2F056QC01
, 2F056QC04
, 2F056QC10
