特許

J-GLOBAL ID：200903044017129620

リニアモータ

発明者： 青山 博志 ,  荒木 博和 ,  武富 正喜
出願人/特許権者： 日立金属株式会社
代理人 (1件)： 浅井 章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-303573
公開番号（公開出願番号）：特開平9-121589
出願日： 1995年10月27日
公開日（公表日）： 1997年05月06日
要約：

【要約】【課題】 高速且つ高精度の位置決め制御を行なうことができるリニアモータを提供する。【解決手段】 固定子側に配列された界磁マグネット8と、この界磁マグネットと磁気空隙を介して移動可能に設けられた電機子コイル14A,14B,14Cを有する移動体6とを具備する可動コイル型リニアモータであって、前記移動体に設けた位置読出し部22からの信号に基づいて前記移動体の位置を認識するエンコーダ部24と、前記界磁マグネットの磁極を検出するための磁極検出部18と、前記エンコーダ部からの位置信号と位置指令信号とに基づいて制御信号を求める制御部26と、この制御部の制御信号と前記磁極検出部からの磁極検出信号に基づいて前記電機子コイルに供給する駆動電流を形成する駆動部44と、前記制御信号或いは前記磁極検出信号から可動コイル型リニアモータの固有振動周波数と実質的に同一の周波数帯域の信号成分を減衰させる帯域減衰フィルタ部42とを備えるように構成する。これにより、帯域減衰フィルタ部にて固有振動周波数と同一周波数成分の信号を減衰させ、移動体の共振を抑制する。

請求項（抜粋）：

固定子側に配列された界磁マグネットと、この界磁マグネットと磁気空隙を介して移動可能に設けられた電機子コイルを有する移動体とを具備する可動コイル型リニアモータであって、前記移動体に設けた位置読出し部からの信号に基づいて前記移動体の位置を認識するエンコーダ部と、前記界磁マグネットの磁極を検出するための磁極検出部と、前記エンコーダ部からの位置信号と位置指令信号とに基づいて制御信号を求める制御部と、この制御部の制御信号と前記磁極検出部からの磁極検出信号に基づいて前記電機子コイルに供給する駆動電流を形成する駆動部と、前記制御信号或いは前記磁極検出信号から可動コイル型リニアモータの固有振動周波数と実質的に同一の周波数帯域の信号成分を減衰させる帯域減衰フィルタ部とを備えたことを特徴とするリニアモータ。

IPC (4件)：

H02P 7/00 101 ,  H02P 7/00 ,  G01B 7/00 ,  G01D 5/245

FI (4件)：

H02P 7/00 101 T ,  H02P 7/00 101 B ,  G01B 7/00 J ,  G01D 5/245 H

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 位置決めテーブル装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-066993   出願人：キヤノン株式会社
• 特開昭58-186391
  
• 特開昭57-193987
  
• 特開平1-304511