特許

J-GLOBAL ID：200903044028571766

橋かけ環式アルキル基を有する光酸発生剤を含有する感光性樹脂組成物、およびそれを用いたパターン形成方法

発明者： 岩佐 繁之 ,  中野 嘉一郎 ,  長谷川 悦雄
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-116980
公開番号（公開出願番号）：特開平10-073919
出願日： 1994年07月14日
公開日（公表日）： 1998年03月17日
要約：

【要約】【目的】 波長が220nm以下の遠紫外線に使用可能な感光性樹脂組成物、およびパターン形成方法を提供する。【構成】 一般式(I)で表されるスルホニウム塩化合物よりなる光酸発生剤を含有する感光性樹脂組成物であって、R1 、R2 のうち少なくとも一つは橋かけ環式炭化水素基を有するアルキル基もしくは単環式アルキル基、残りが直鎖状、分岐状あるいは単環式アルキル基であって、R3 はβ位にオキソ基を有する単環式アルキル基もしくはβ位にオキソ基を有する橋かけ環式アルキル基であり、Y ̄は対イオンを表す。【化1】

請求項（抜粋）：

一般式(I)で表される少なくとも置換基の一つに橋かけ環式アルキル基を有するスルホニウム塩化合物よりなる光酸発生剤、および樹脂よりなることを特徴とする感光性樹脂組成物。【化1】(R1 、R2 のうち少なくとも一つは橋かけ環式炭化水素基を有するアルキル基、残りが直鎖状、分岐状あるいは単環式アルキル基を表し、R3 はβ位にオキソ基を有する単環式アルキル基もしくはβ位にオキソ基を有する橋かけ環式アルキル基を表し、Y ̄は対イオンを表す。)

IPC (4件)：

G03F 7/004 503 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/027 ,  C08L101/12

FI (5件)：

G03F 7/004 503 A ,  G03F 7/039 501 ,  C08L101/12 ,  H01L 21/30 502 R ,  H01L 21/30 529

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 感光性化合物および感光性組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-233820   出願人：日本電気株式会社
• 電子写真感光体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-048771   出願人：キヤノン株式会社
• 橋かけ環式アルキル基を有するスルホニウム塩化合物、光酸発生剤、それを含有する感光性樹脂組成物、およびそれを用いたパターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-162244   出願人：日本電気株式会社