特許
J-GLOBAL ID：200903044064414030
顕微鏡用測光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-228174
公開番号（公開出願番号）：特開平9-072784
出願日： 1995年09月05日
公開日（公表日）： 1997年03月18日
要約：
【要約】【課題】光源からの照明光を観察試料に照射して得られる光を、対物レンズを含む光学系を介して結像し、その光量を光検出器で検出して光量情報を得る光学顕微鏡用測光装置において、測定可能な光量のダイナミックレンジを大きく設定しながら、微小な光量でもS/N比の高い測定を行なう。【解決手段】光検出器1からの検出信号を増幅する信号増幅部3と、この信号増幅部3の出力をアナログ値からデジタル値に変換するA/D変換器4と、上記光検出器1からの検出信号のパルス幅を増幅するパルス増幅部5と、このパルス増幅部5の出力信号中の光子数をカウントするパルス計数部6と、信号増幅部3の出力電圧を基準値と比較する電圧比較部11と、この電圧比較部11での比較結果に応じて上記A/D変換器4の出力及び上記パルス計数部6のカウント値のいずれか一方を選択して測定情報とするデータ選択部7とを備える。
請求項（抜粋）：
光源からの照明光を観察試料に照射して得られる光を、対物レンズを含む光学系を介して結像し、その光量を光検出器で検出して光量情報を得る光学顕微鏡用測光装置において、上記光検出器からの検出信号を増幅してアナログ値からデジタル値に変換するA/D変換手段と、上記光検出器からの検出信号のパルス成分を増幅して光子数をカウントするカウント手段と、上記光検出器の検出信号レベルに応じて上記A/D変換手段の出力及び上記カウント手段のカウント値のいずれか一方を選択して測定情報とする選択手段とを具備したことを特徴とする顕微鏡用測光装置。
IPC (4件)：
G01J 1/44
, G01N 21/27
, G01N 21/64
, G02B 21/00
G01J 1/44 A
, G01N 21/27 E
, G01N 21/64 E
, G02B 21/00
