赤外顕微測定装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：前川幾治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-269691
公開番号（公開出願番号）：特開平6-094613
出願日： 1992年09月11日
公開日（公表日）： 1994年04月08日
要約：

【要約】【目的】赤外顕微測定において、赤外光の波長の長さによる光の回折限界の制約を超えて、空間分解能を増大する。【構成】試料1の上面に、赤外域において透明でかつ高屈折率の半球形状のプリズム3の下面を密着させて置く。

請求項（抜粋）：

赤外域の光源から射出された赤外光を集光光学系により一点に集光して試料に照射し、この照射赤外光と前記試料との相互作用を経た光を顕微対物光学系により結像してこの結像光を光電検出することにより前記試料の局所的なスペクトルを測定する赤外顕微測定装置において、赤外域において透明かつ高屈折率で、下側に前記試料の一面と密接可能な平面を有する半球形状のプリズムを備えると共に、前記集光光学系の集光点に集光される光束には少なくとも前記半球形状プリズムの屈折率と前記試料の屈折率とで決まる全反射の臨界角以上の入射角をもって入射される光を含むことを特徴とする赤外顕微測定装置。

IPC (3件)：

G01N 21/35 , G01N 21/27 , G02B 21/00

引用特許：

審査官引用 (14件)

特開平2-223847
特許第5019715号
特開平4-016748

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