特許

J-GLOBAL ID：200903044080298300

静電アクチュエータ、静電アクチュエータの製造方法、液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの製造方法、液滴吐出装置、液滴吐出装置の製造方法、デバイスおよびデバイスの製造方法

発明者： 大谷 和史
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  藤綱 英吉 ,  須澤 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-079318
公開番号（公開出願番号）：特開2006-256222
出願日： 2005年03月18日
公開日（公表日）： 2006年09月28日
要約：

【課題】高精度で安価な電極基板を用いた静電アクチュエータ、静電アクチュエータの製造方法、液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの製造方法、液滴吐出装置、液滴吐出装置の製造方法、デバイスおよびその製造方法を提供する。【解決手段】振動板23を有する第1の基板2と、電極溝を有しこの電極溝に振動板23とギャップを隔てて対向する対向電極42が設けられた第2の基板4とを備え、振動板23と対向電極42との間に電圧を印加することによりこれらの間に静電気力を発生させて、振動板23を変位させる静電アクチュエータであって、第2の基板4の電極溝41の内壁全体に対向電極42を設けたものである。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

振動板を有する第1の基板と、電極溝を有し該電極溝に前記振動板とギャップを隔てて 対向する対向電極が設けられた第2の基板とを備え、前記振動板と対向電極との間に電圧 を印加することによりこれらの間に静電気力を発生させて、前記振動板を変位させる静電 アクチュエータにおいて、 前記第2の基板の電極溝の内壁全体に対向電極を設けたことを特徴とする静電アクチュ エータ。

IPC (4件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  H02N 1/00 ,  B41J 2/16

FI (3件)：

B41J3/04 103A ,  H02N1/00 ,  B41J3/04 103H

Fターム (13件)：

2C057AF37 ,  2C057AF93 ,  2C057AG54 ,  2C057AG94 ,  2C057AP22 ,  2C057AP23 ,  2C057AP33 ,  2C057AP52 ,  2C057AP53 ,  2C057AP54 ,  2C057AP55 ,  2C057AQ01 ,  2C057AQ02

引用特許：

出願人引用 (1件)

• Cr膜を利用したガラス基板の溝形成方法及びインクジェットヘッドの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-336184   出願人：セイコーエプソン株式会社