特許
J-GLOBAL ID:200903044085843446
可変形状鏡及びその作成方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-349925
公開番号(公開出願番号):特開2002-156514
出願日: 2000年11月16日
公開日(公表日): 2002年05月31日
要約:
【要約】【課題】本発明は、小型で高い結像性能が得られる低コストの可変形状鏡及びその作成方法を提供する。【解決手段】本発明の一態様によると、開口部を有する枠部材と、反射面を有する第1の領域と、上記第1の領域の外周部であり上記第1の領域より高剛性である第2の領域を有し、上記開口部に支持された薄膜とを有することを特徴とする可変形状鏡が提供される。また、本発明の別態様によると、可変形状の反射面側の枠部材と、基板とを所定の間隔で接合して可変形状鏡を作成する方法であり、上記枠部材又は上記基板の一方に、感光性の塗布材を塗布し、所定のマスクを用いて露光し、現像してスペーサを形成する手順と、上記枠部材又は上記基板の他方を、上記スペーサに接合し、熱処理して接着する手順とを有することを特徴とする可変形状鏡の作成方法が提供される。
請求項(抜粋):
開口部を有する枠部材と、反射面を有する第1の領域と、上記第1の領域の外周部であり上記第1の領域より高剛性である第2の領域とを有し、上記開口部に支持された薄膜と、を有することを特徴とする可変形状鏡。
IPC (2件):
FI (2件):
G02B 5/10 B
, G02B 26/08 E
Fターム (8件):
2H041AA02
, 2H041AB38
, 2H041AC06
, 2H041AZ02
, 2H041AZ08
, 2H042DD05
, 2H042DD13
, 2H042DE07
引用特許:
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