特許

J-GLOBAL ID：200903044090144521

放電処理装置及び放電処理方法

発明者： 大保 忠司 ,  國友 新太 ,  佐々木 賢一 ,  足立 正 ,  須田 康司
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (2件)： 大畑 進 ,  栗林 三男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-234867
公開番号（公開出願番号）：特開2006-051441
出願日： 2004年08月11日
公開日（公表日）： 2006年02月23日
要約：

【課題】 所定の処理状態を安定して維持し、目的に応じた効率の良い処理を行うことができるような放電処理装置及び放電処理方法を提供する。【解決手段】 この放電処理装置は、液体中に互いに対向して浸漬させた少なくとも一対の電極12,14と、これらの電極間に電圧を印加する電源装置22と、電極間における放電状態を検出する放電状態検出手段28と、前記放電状態検出手段の検出値に基づいて所定の放電状態を維持するように電極間における放電条件を調整する放電制御手段36とを有する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

液体中に互いに対向して浸漬させた少なくとも一対の電極と、 前記少なくとも一対の電極間に電圧を印加する電源装置と、 前記電極間における放電状態を検出する放電状態検出手段と、 前記放電状態検出手段の検出値に基づいて所定の放電状態を維持するように電極間における放電条件を調整する放電制御手段とを有することを特徴とする放電処理装置。

IPC (2件)：

C02F 1/48 ,  B01J 19/08

FI (2件)：

C02F1/48 B ,  B01J19/08 C

Fターム (17件)：

4D061DA09 ,  4D061DB01 ,  4D061DB02 ,  4D061EA15 ,  4D061EB07 ,  4D061EB14 ,  4D061EB19 ,  4D061EB37 ,  4D061EB39 ,  4D061EB40 ,  4D061GA14 ,  4D061GA30 ,  4D061GC14 ,  4G075AA13 ,  4G075CA15 ,  4G075DA02 ,  4G075EC21

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 衝撃緩衝機構を備えた放電装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-236977   出願人：株式会社荏原電産
• 液体中放電装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-255554   出願人：株式会社荏原製作所, 株式会社荏原電産